被稱為“第三代傳感器”的薄膜壓力傳感器,，是國外80年代后針對新型武器裝備的發(fā)展而開發(fā)的傳感器新品種,，其優(yōu)越的耐惡劣環(huán)境性能受到世界各國的重視,。

薄膜高溫壓力傳感器：在超音速飛行器中,，液壓系統(tǒng)是飛機的關(guān)鍵系統(tǒng)之一,，液壓系統(tǒng)采用液壓油作為工作介質(zhì)，一旦液壓油的壓力消失,，飛機將無法實現(xiàn)飛機的控制和降落,。該研制產(chǎn)品用于測量高達200℃的高溫流體。其主要研制難點是環(huán)境溫度高,，壓力高,，振動強，電磁干擾大,。研究路線是在現(xiàn)有的技術(shù)基礎(chǔ)上,，研究解決敏感材料和薄膜的耐高溫問題，解決強電磁干擾問題,。

薄膜高溫?zé)崃鱾鞲衅鳎河糜跍y量飛機殼體在高超音速飛行狀態(tài)與空氣磨擦所產(chǎn)生的熱量,。機載試驗大約需要使用300多個傳感器以測量殼體不同形狀部位的熱況，定型飛機的健康管理系統(tǒng)中仍然需要使用多個傳感器監(jiān)測關(guān)鍵部位的發(fā)熱狀況,。該技術(shù)成果還可用于彈頭材料的設(shè)計試驗,。其主要研制難點是工作溫度高達1200℃，響應(yīng)時間小于100μs,，且要求體積輕巧,，便于與機殼緊固安裝。研究路線是采用離子束濺射和干法刻蝕技術(shù)在陶瓷基片上制造熱敏電阻薄膜電橋,，不同橋臂上再淀積不同厚度的阻熱薄膜,，以分別感測堆積熱量和瞬變熱量，通過電橋輸出一定面積內(nèi)的瞬變溫度,，再通過微電路轉(zhuǎn)換成熱量信號輸出,。

薄膜推力傳感器：在超音速飛行器中，有多個反作用力控制系統(tǒng),、空中變軌和姿態(tài)控制系統(tǒng),，這些系統(tǒng)都是通過噴射高壓氣體來調(diào)節(jié)、控制飛行器的姿態(tài)和運行軌道,，薄膜推力傳感器用于測量噴射氣體時產(chǎn)生的反推力,。該傳感器的主要研制難點是響應(yīng)時間要達到2ms，并可測量高速脈動氣體而不產(chǎn)生自振效應(yīng),。研究路線是設(shè)計一種異型結(jié)構(gòu)的圓柱形支撐應(yīng)變體,，在聚酰亞胺薄膜上制作金屬電阻應(yīng)變薄膜電橋，將應(yīng)變電橋粘接到柱形應(yīng)變體上形成傳感器,，避免傳統(tǒng)的懸臂梁傳感器在受到重復(fù)的脈沖力作用時發(fā)生諧振的問題,，同時圓柱體中心可直接穿過氣體噴管，解決傳統(tǒng)的測量裝置需要將噴管彎曲的問題,，提高測量的真實性和準(zhǔn)確度,。

薄膜一體化高溫壓力溫度傳感器：用于測試飛機上RCS系統(tǒng)中儲氣瓶內(nèi)及輸氣管道內(nèi)的壓力和溫度。RCS系統(tǒng)用于飛機姿態(tài)的調(diào)整,，高壓儲氣瓶內(nèi)壓力高達60MPa,，輸氣管道內(nèi)的壓力為5MPa，由于在高壓儲氣瓶上開多個接口會影響氣瓶的強度,，因此要在一個接口上實現(xiàn)壓力和溫度的同時測量,，縮小產(chǎn)品體積、減輕整機產(chǎn)品重量,。每架大約有4-8個通道需要安裝該產(chǎn)品,。其主要研制難點是測量介質(zhì)壓力高、要求整體尺寸小,，環(huán)境振動強,、電磁干擾強。研究路線是采用離子束濺射和干法刻蝕技術(shù)在不銹鋼彈性基片上同時制造壓力敏感電橋和熱敏薄膜電阻,，在彈性基片上鍍制多層穩(wěn)定的薄膜組成壓力-溫度敏感元件,，再通過微電路轉(zhuǎn)換成準(zhǔn)確的標(biāo)準(zhǔn)信號輸出。

薄膜快速響應(yīng)溫度傳感器：用于飛機液壓系統(tǒng)液壓油溫的測量,。該傳感器的主要研制難點是,，敏感元件要設(shè)計在可承受40MPa高壓的防護殼內(nèi)，響應(yīng)時間要小于100mS,。研究路線是采用離子束濺射和干法刻蝕技術(shù)在快速傳熱的基片上制造熱敏薄膜電阻,。本文源自澤天傳感，轉(zhuǎn)載請保留出處,。