國內(nèi)外最常用的三種接觸式測溫元件是熱電偶,、電阻溫度計（RTD）和NTC熱敏電阻,。熱電偶的工作溫度范圍寬,，但易受噪聲影響，漂移較高,，500℃以下測量精度及穩(wěn)定性較差,。NTC熱敏電阻靈敏度高，但穩(wěn)定性差,、線性與互換性差,，阻值偏差大。遠(yuǎn)距離,、非接觸式測溫中用得多的是紅外溫度傳感器,，但它受水氣、煙霧、塵霧,、塵埃等影響較大,，這些都不適合環(huán)境惡劣的軍用傳感器性能要求。在低,、中溫段,，以電阻溫度計的線性最好，尤其是鉑熱電阻,，憑借其上好的線性和無與倫比的長期穩(wěn)定性,，確立了作為溫度參考傳遞國際標(biāo)準(zhǔn)的地位。所以,，高精度,、高穩(wěn)定性的軍用傳感器基本都是采用的鉑熱電阻溫度傳感器。

鉑熱電阻的制作工藝一般采用的是絲式,、箔式,、厚膜式。絲式鉑電阻是在平板形式支架用直徑為0.03~0.07mm純鉑絲繞制而成,，精度高,，但抗振動和抗沖擊性能差，可靠性低,，且體積大,，不利于向微型化方向發(fā)展。箔式鉑電阻雖然抗振動沖擊性能有所改善,，但具有耐濕性差，絕緣性能低的缺點(diǎn),。鉑膜熱電阻的優(yōu)點(diǎn)主要體現(xiàn)在：1)穩(wěn)定性好,，抗振動，抗沖擊,；2）體積小,，重量輕，便于微型化,；3）精度高,，壽命長。

國內(nèi)鉑膜熱電阻的研究起步較晚,，在電阻的準(zhǔn)確性,、穩(wěn)定性、線性度等技術(shù)性能和可生產(chǎn)性方面,，與國外同類型產(chǎn)品還有很大的差距,。國內(nèi)市場上絕大部分的高精度鉑膜熱電阻都依賴進(jìn)口，這對我國工業(yè)技術(shù)與國防事業(yè)的發(fā)展都很不利。國外對高精度鉑熱電阻的研制主要集中在鉑膜熱電阻上,。如瑞典的IRON公司,、德國賀利氏（Heraeus）公司、美國霍尼韋爾公司,，德國賀利氏的高精度鉑膜電阻的代表有L020,、L420。國外對高精度產(chǎn)品的開發(fā)投入相當(dāng)大,，美國霍尼韋爾公司的固態(tài)傳感器發(fā)展中心每年用于設(shè)備投資就達(dá)5000萬美元,，目前擁有包括計算機(jī)輔助設(shè)計、單晶生長,、加工,、圖形發(fā)生器，對步重復(fù)照像,、自動涂膠和光刻,、等離子刻蝕、濺射,、擴(kuò)散,、外延、蒸鍍,、離子注入,、化學(xué)氣相沉積、掃描電鏡,、封裝和屏蔽動態(tài)測試等最先進(jìn)的成套設(shè)備和生產(chǎn)線,，而且是大約每三年左右就要更新其中大部分儀器設(shè)備。

通過先進(jìn)的薄膜制備技術(shù)制作的薄膜鉑熱電阻是新型的高精度溫度敏感元件,，國外軍事上普遍使用,。它的主要工作原理是利用鉑電阻的阻值隨溫度變化而變化，并呈一定函數(shù)關(guān)系的特性來進(jìn)行測溫,，這種溫敏元件能直接測量-60℃～+600℃范圍內(nèi)的液體,、氣體介質(zhì)以及固體表面的溫度。如日本產(chǎn)的CRZ鉑金薄膜熱電阻芯片就是一個劃時代溫度傳感器發(fā)展的產(chǎn)物,。這種薄膜鉑熱電阻元件采用的是最先進(jìn)高科技方法,，像激光噴鍍，顯微照相和平版印刷光刻技術(shù),，用陶瓷和鉑特制而成,，而電阻值則以數(shù)字修整方式作出微調(diào)，因而能提供最精確的電阻值,，產(chǎn)品精度達(dá)到了A級和B級,。該電阻元件在高溫下能夠保持優(yōu)良的穩(wěn)定性,，適合在-50℃～400℃的溫度下使用。鉑薄膜通過激光噴濺在陶瓷表層,，因而鉑膜熱電阻元件具有良好的防振動和防沖擊性能,，薄膜表面覆蓋以陶瓷，因此元件能夠承受高電壓并有良好的絕緣性,。本文源自澤天傳感,，轉(zhuǎn)載請保留出處。