CY10濺射薄膜壓力傳感器采用先進的離束濺射工藝,，在彈性膜片上淀積多層薄膜，采用干法刻蝕技術將NiCr膜刻蝕成電阻橋,。在流體壓力作用下,，膜片變形使橋路電阻幾何尺寸和阻值發(fā)生改變,電橋輸出與壓力成比例的電信號。微電子工藝制作出的惠斯登電橋和膜片組成全金屬型敏感元件,，由于無任何粘貼劑和活動部件,，無密封腔和充油腔，因此具有以下特點,。

1,、正常工作條件下，不需作任何調(diào)整,，零點輸出的長期穩(wěn)定性優(yōu)于±0.1%F.S/年,；

2、無論是連續(xù)還是間斷通電,，室溫下傳感器的零點漂移誤差優(yōu)于±0.1%F.S,；

3、傳感器的綜合精度（含非線性,、重復性,、滯后誤差）可達到0.05級、0.1級,；

4,、工作溫度范圍寬：常規(guī)產(chǎn)品-40℃～125℃，特殊產(chǎn)品-55℃～180℃,；

5,、可靠性高,，平均無故障工作時間超過50000小時；

6,、傳感器輸入阻抗高,、功耗小、響應速度快,；

7、耐濕,、抗振動,、抗沖擊、抗電磁與核輻射干擾,；

8,、彈性體和應變電阻材料都是金屬材料, 濺射工藝代替粘貼工藝, 消除了膠的影響，無蠕變,、不老化,、工作溫度范圍寬、溫度特性好,；

9,、體積小、重量輕,，適合大批量組裝生產(chǎn),。

應用領域

軍事工業(yè)：武器及試驗系統(tǒng)、軍用衛(wèi)星,、運載火箭與發(fā)射地面支撐裝置,、坦克及戰(zhàn)車發(fā)動機、航空發(fā)動機測試系統(tǒng),、艦艇,、、航天器,、航天飛行器飛行數(shù)據(jù)測試,、彈道導彈、機載激光器壓力測量,；

石化能源：油田鉆井,、測井、錄井,、試壓設備,、油井測量儀器、近海深海石油開采平臺,、天然氣,、石油輸送管道,、電廠、核電站,、高溫地熱發(fā)電機,；

高溫燃油與發(fā)動機制造：燃燒室壓力、燃油壓力控制系統(tǒng),、燃氣輪機和發(fā)動機測試,、內(nèi)燃機、壓縮機,、試驗機,、蒸汽等高溫高壓的壓力測量；

工程機械與液壓系統(tǒng)：高溫液壓系統(tǒng),、液壓機械,、液壓泵站、壓鑄機,、靜壓機等,；

船舶交通：船舶制造、柴油機高壓共軌壓力測量,、汽車壓力測量等,；

科研與試驗：髙端設備配套、工程項目配套,。

典型尺寸

技術參數(shù)

靈敏度及非線性

使用指南

1,、嚴禁用手或其他物體接觸膜片表面（應變圖形），膜片表面的任何劃傷均會損壞膜片,；

2,、膜片電接點焊接后建議使用硅凝膠涂覆膜片表面以保護應變電橋；

3,、膜片焊接后,，應對傳感器組件進行機械穩(wěn)定20次以上，壓力大小為量程的2倍,；

4,、建議對應變電阻進行電老化：供電電壓10～15VDC，＋150℃ 12小時,。

相關資料

1,、CY10濺射膜壓力敏感元件外形尺寸CAD圖 請點擊下載。